机、超精度硅片抛光机、超精密激光直写机、也可以用在超精密加工和检测等高端设备上面，经济效益非常好，可以成为国家高效益经济增长点，也把我们国家之前空白的产业给填上了，产值至少能达到数百亿，也可以出口抢占国外的市场。”
“更重要的是，如果能在这些方面实现突破的话，美国为首的这些西方国家在半导体产业上就掐不了我们国家的脖子了，其他非核心的技术我们可以引进或者合作，主动权完全掌握在我们自己手中。”
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