,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。”
“一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。经过一次光刻的芯片可以继续涂胶、曝光。”
“越复杂的芯片,线路图的层数越多,也需要更精密的曝光控制过程。”
“可能大家不是专业,不知道,光刻机的波长越短,可曝光的特征尺寸就越小,波长越短,就表示光刻的刀锋越锋利,刻蚀对于精度控制要求越高。”
“还有就是离子束比激动束,有着非常大的能量,能量越大,曝光时间就越短。”
“而我设计的光刻机,不管是在支持基片的尺寸范围,分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等,理论上都比asml的euvnxe3350b强!”
“他的可见g线:136nm,i线:65nm,深紫外光(duv),krf准分子离子束:48nm,arf准分子离子束:23nm!”
“它可以加工2nm的精度!”
2nm的精度?
不会是乱报的吧?
怎么可能有这么高的精度?
真的假的?
刘林前面说的技术,可能自己不是专业听不明白,但是最后果的可以2nm的精度还是明白的!
要知道现在就世界上最牛的光刻机最高精度,是h兰国的,好像是5nm?
现在你跟我说你设计的光刻机加工精度达到2nm?确认没搞错?
忽悠人也不是这么忽悠的吧!
一个个虽然心里不怎么相信,但也学乖了,刚才差点被刘林玩坏掉!
这次不长我个心眼是不行了!
要知道台眼地操蛋的家伙,有时候真的好想上去打他一顿,简直是坑死人不偿命。
要是再长多个心眼,迟早给玩死。
所以还是乖乖地当一个三好学生,等刘林继续...
你继续表现,现在你是老大,你说了算,你想怎么表演就怎么表演。
还不行嘛。
五老板在中午的时候就收到相关的信息,自然不会太多的表示。
而莎女士现在有点为m国跟h兰国感到悲哀了!
而h兰国,可以说是无辜中枪啊!
可以说是倒大霉了。
谁让你没事跟m国混的!
能怪谁?
所以..