第57章 从零到一

  復大物理楼考场內。

  李东皱著眉头审题

  “系统匀速扫描……浸没液瞬態温升……”

  他在草稿纸上写下了几个流体力学和热传导的核心参量。

  “要去解决水的问题呀！”

  “用微流控主动散热系统怎么说？”

  “可以在晶圆台上方建个高频的循环流道，把热量瞬间带走。”

  李东刚想到就立刻否决了。

  “不行，不行。”

  “晶圆台的扫描速度至少1200mm/s，单脉衝雷射带来的浸没液瞬態温升时间都是微秒级的，循环流控的热响应速度根本追不上。”

  “而且还要把局部温升控制到 0.001c以內，才能满足线宽要求。”

  “100万可能搞不定吧。”

  李东真·挠了挠头，尝试用第二个角度切入。

  “那自適应光学补偿呢？在光路中加入可变形反射镜，实时测温然后抵消光程差？”

  李东摇了摇头，再次否决。